高速パルスプラズマエッチング装置


原理

大面積金属板の高速エッチング装置です。これを用いて真空中で表面酸化層を瞬時に取り除き、フレッシュな金属表面にスパッタなどで成膜することで、高密着性が得られます。

特徴

実際、ステンレス板の上に内部応力の大きな300nmの超硬ＴｉＮ膜を形成しましたが、全く膜剥がれはありませんでした。

用途

建築用装飾金属板

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