矩形波パルス電源：　i-pulse


原理

矩形波パルススパッタ用の電源です。

特徴

5kWから90kWまで対応可能です。ユニポラー、バイポラー、パルスパケットモードが可能であり、特にアーキング抑制機能に優れています。

用途

パルススパッタ用電源

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