矩形波パルス化ユニット：UBS-C2


原理

矩形波パルススパッタ用のスイッッチングユニットです。

特徴

40ｋＷが標準で、バイポラー、ユニポラー、パルスパケットモードでのパルススパッタを可能にします。アーキング抑制機能に優れています。1台または2台のＤＣ電源と組み合わせて使います。

用途

パルススパッタ用電源

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