新型電子ビームガン


原理

特徴

従来のタングステンフィラメントからの熱電子ではなく、グロー放電プラズマ中の電子を利用した高電圧電子ビームガンであり、小型で価格も従来品より大幅に下がっていることが特徴です。

用途

大容量真空蒸着用電子ビーム蒸着に適しています。従来のEBガンと同じ使い方ができます。

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