反射率角度依存性測定による光学定数、膜厚測定

原理

反射率（p偏光、s偏光）の角度依存性を測定し、非破壊で光学多層膜の各層のn,k,dを求める方法です。

特徴

用途

光学多層膜の光学特性評価

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