全デジタルプロセス制御ユニット: PCUplus


原理

全デジタル化によりパルスプラズマから発する高周波ノイズなどの影響を避けられること、自分でプログラミング可能なこと、様々なプロセス制御（インピーダンス制御、プラズマ発光制御、分圧制御）などを可能にします。

特徴

反応性スパッタのプロセス制御に使われるユニットであり、ＦＥＰの40年ほどにわたる経験の結晶で、いわば、プロセス制御システムの心臓部です。

用途

反応性スパッタのプロセス制御

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