リニアHCD（ホローカソード放電）プラズマ源

原理

ホローカソードプラズマガンを20㎝程度の間隔で並べたリニア高密度プラズマ源です。

特徴

真空蒸着と組み合わせて超高速プラズマアシスト蒸着として使うために開発、上市されたものです。

用途

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