オンライン光学モニター

原理

Ｒ２Ｒ装置による透明導電膜の透過率、反射率をオンラインで測定し、場合により、膜厚制御にフィードバックするシステム。

特徴

用途

プラスチックフィルムへの光学多層膜形成時のオンライン光学特性評価

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