パルススパッタカソード： RMシリーズ

精密光学膜製造用に開発、実用化されたロールコーターやインラインスパッタ装置向けの矩形カソードです。ＦＥＰ独自の隠れアノード、移動磁石により高速・低温・均一・安定成膜を実現しています。

シングルでもデュアルでも使うことができます。カソード長さは、200㎜から1500㎜まで対応可能です。強磁場タイプもあり、低ダメージ、低圧力スパッタを可能にします。

大面積のプラスチックフィルムやガラス板への光学多層膜、透明導電膜、ハイバリア膜などの形成に適しています。